美國KLA科磊Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀

美國KLA科磊Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀

美國KLA科磊的Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀是一款高精度、多功能的表面形貌測量設備，專為科研與工業應用設計。以下是對該產品的詳細簡介：

產品概述

Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀采用創新的光學杠桿傳感器技術，結合接觸式探針測量，實現了從納米級到1200微米（1.2毫米）的2D和3D臺階高度測量。該設備不僅支持臺階高度的精確測量，還能進行粗糙度、波紋度、翹曲度和應力的量化分析，為材料表面形貌研究提供了全面的解決方案。

技術特點

1. ?高分辨率與大垂直范圍?：光學杠桿傳感器技術提供了亞埃級的分辨率和1200微米的垂直測量范圍，確保了測量的高精度和廣泛適用性。

2. ?低觸力測量?：探針作用力可調節范圍從0.03毫克至15毫克，適用于軟材料（如光刻膠）和硬材料的測量，避免了對樣品的損傷。

3. ?多種探針選擇?：提供多種探針針尖半徑（從100納米到50微米不等）和角度（20度至100度），以適應不同結構和材料的測量需求。

4. ?優良的圖像控制與校正?：配備500萬像素高分辨率彩色相機，支持梯形失真校正和圓弧校正，消除了側視視圖和探針弧形運動引起的誤差。

5. ?用戶友好的軟件界面?：Apex分析軟件具備調平、濾波、臺階高度、粗糙度和表面形貌分析技術，支持ISO粗糙度計算方法和多種語言，便于數據分析和報告編寫。

應用領域

Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀廣泛應用于半導體、化合物半導體、LED、太陽能、MEMS、汽車和醫療設備等行業。它能夠量化蝕刻、濺射、沉積、旋涂、化學機械研磨等工藝中沉積或去除的材料厚度，測量樣品表面的粗糙度和波紋度，以及評估翹曲度和應力變化，為工藝優化和質量控制提供了重要數據支持。