美國KLA科磊Tencor® P-7 探針式輪廓儀

美國KLA科磊Tencor® P-7 探針式輪廓儀

Tencor® P-7探針式輪廓儀是美國KLA科磊公司推出的一款高精度、多功能的表面形貌測量設備，專為半導體、化合物半導體、LED、太陽能、MEMS、數據存儲及汽車電子等行業設計。該設備基于市場的Tencor P-17臺式探針輪廓分析系統，繼承了其測量性能，同時提供了更高的性價比。

?核心功能?：

• ?多維度測量?：Tencor® P-7支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維（2D）和三維（3D）測量，掃描范圍可達150毫米，無需圖像拼接，滿足大尺寸樣品的測量需求。

• ?恒力控制技術?：探針作用力可在0.03至50毫克范圍內動態調節，確保測量穩定性，尤其適用于光刻膠等軟性材料的精確測量。

• ?高分辨率成像?：配備500萬像素高分辨率彩色相機，提供清晰的在線影像觀察，支持頂視和側視光學系統，便于樣品對準和缺陷定位。

• ?智能軟件分析?：Apex分析軟件支持ISO粗糙度計算方法，提供調平、濾鏡、臺階高度、粗糙度和表面形貌分析等擴展功能，并支持多語言界面，便于用戶操作和數據報告編寫。

?技術優勢?：

• ?高重復性測量?：UltraLite®傳感器具有動態力控制、良好線性度和精準垂直分辨率，確保測量結果的穩定性和準確性。

• ?自動化生產能力?：通過測序、圖形識別和SECS/GEM功能實現全自動測量，減少操作員誤操作，提高測量效率。

• ?廣泛適用性?：支持多種探針和載臺選項，適應不同樣品尺寸和測量需求，包括太陽能板樣品和200毫米通用載臺。

?應用領域?：
Tencor® P-7廣泛應用于半導體制造、化合物半導體、LED、太陽能、MEMS、數據存儲及汽車電子等行業，為工藝研發和生產環節提供關鍵數據支持，助力提升產品質量和生產效率。