美國KLA科磊Tencor® P-17探針式輪廓儀

美國KLA科磊Tencor® P-17探針式輪廓儀

Tencor® P-17是美國KLA科磊公司推出的第八代臺式探針式輪廓儀，憑借其測量性能和穩定性，成為半導體、化合物半導體、LED、太陽能、MEMS、數據存儲及汽車電子等行業的表面形貌分析工具。該設備凝聚了KLA逾40年的表面量測經驗，支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維（2D）和三維（3D）測量，掃描范圍可達200毫米，無需圖像拼接，顯著提升了測量效率與數據完整性。

?核心功能與技術優勢?

1. ?多維度精密測量?：P-17可量化從納米級到1000微米的臺階高度，適用于蝕刻、沉積、化學機械研磨（CMP）等工藝中材料厚度的精確分析。其2D/3D粗糙度測量功能通過軟件濾波技術，將粗糙度與波紋度分離，并計算均方根（RMS）等關鍵參數，為工藝優化提供數據支持。

2. ?恒力控制與超平掃描臺?：設備搭載UltraLite®傳感器與動態恒力控制系統，探針作用力可在0.03至50毫克范圍內調節，確保對光刻膠等軟性材料的無損測量。超平掃描臺結合圓弧校正技術，消除探針弧形運動誤差，實現高重復性測量。

3. ?全自動化與智能化操作?：通過圖形識別、序列編程和SECS/GEM通信接口，P-17支持全自動測量流程，減少人為干預，提升生產穩定性。500萬像素高分辨率相機與頂視/側視光學系統，可快速定位樣品并生成清晰影像，簡化操作步驟。

?應用場景與行業適配性?
P-17廣泛應用于半導體制造中的晶圓翹曲度檢測、薄膜應力分析，以及LED行業的透鏡曲率半徑測量。其支持多種探針與載臺配置，可適配從50毫米到300毫米的晶圓及太陽能板等大型樣品，滿足不同工藝需求。設備還配備防震臺選項，進一步降低環境振動對測量精度的影響。

?軟件與售后服務?
Apex分析軟件提供ISO標準兼容的粗糙度計算、多語言界面及自動化報告生成功能，支持離線編程與數據分析，最大機臺利用率。KLA提供1年質保期及現場技術咨詢、免費培訓等售后服務，確保用戶長期穩定使用。