
產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-11-21
廠商性質(zhì):代理商
訪 問 量 :90
028-68749778
產(chǎn)品分類
| 品牌 | Bruker/布魯克 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
德國Bruker/布魯克 Dektak XTL探針式輪廓儀

德國Bruker/布魯克 Dektak XTL探針式輪廓儀
Dektak XTL可容納最大350mm×350mm的樣品,支持300mm晶圓及大型面板(如太陽能電池板、觸摸屏)的測量,滿足半導(dǎo)體、顯示面板等行業(yè)對大尺寸制造的嚴(yán)苛需求。
?臺階高度重復(fù)性?:優(yōu)于5埃(5?,1σ在1μm臺階上),垂直方向分辨率最大達(dá)1?(6.55μm垂直范圍下),確保數(shù)據(jù)可靠性。
?探針配置?:探針尖半徑范圍50nm至25μm,作用力0.3-15mg,適應(yīng)不同材料(如柔軟薄膜或硬質(zhì)基底)的測量需求。
?單拱形架構(gòu)?:集成振動隔離系統(tǒng),有效降低環(huán)境振動和噪聲干擾,提升掃描穩(wěn)定性。
?全封閉工作站?:配備氣體隔振裝置和聯(lián)鎖門,適應(yīng)高潔凈度生產(chǎn)環(huán)境,保障長期運(yùn)行穩(wěn)定性。
?雙攝像頭系統(tǒng)?:提供實(shí)時視頻定位與空間感知,支持點(diǎn)擊定位、兩點(diǎn)自動旋轉(zhuǎn)對齊等功能,簡化樣品裝載與測量設(shè)置。
?高精度編碼XY樣品臺?:300mm自動化平臺支持360度旋轉(zhuǎn),編程控制無限制測量位置,提升測試通量。
?軟件功能?:Vision64軟件支持64位并行處理,提供3D成像、數(shù)百種內(nèi)置分析工具及圖形識別功能,減少操作員誤差,實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集與分析的直觀流程。
?半導(dǎo)體制造?:測量晶圓表面臺階高度、粗糙度、蝕刻深度及化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)均勻性。
?顯示與光伏?:分析LED芯片透鏡曲率、觸摸屏薄膜厚度、太陽能電池涂層均勻性。
?材料科學(xué)?:研究納米材料、涂層、聚合物的表面形貌與摩擦性能。
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